| Полное название | Слепцов В.В., Кожитов Л.В., Муратов Д.Г., Попкова А.В., Савкин А.В., Дителева А.О., Козлов А.П. Тонкопленочные вакуумные технологии для получения электролитических конденсаторных структур высокой емкости // Вакуумная техника и технология. 2019. Т.29. №1. С.40-43. |
| Тип публикации | Статья |
| Язык | Русский |
| URL | https://elibrary.ru/item.asp?id=41385771 |
| Дата публикации | 01.01.1900 |
| РИНЦ RSCI Перечень ВАК Web of Science Scopus | |
| С участием зарубежных ученых |
