| Полное название | Сергеева О.Н., Солнышкин А.В., Киселев Д.А., Ильина Т.С., Кукушкин С.А., Шарофидинов Ш.Ш., Каптелов Е.Ю., Пронин И.П. Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия // Физика твердого тела. 2019. Т.61. №12. С.2379-2384. |
| Тип публикации | Статья |
| Язык | Русский |
| URL | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=42571133 |
| Дата публикации | 01.01.1900 |
| РИНЦ RSCI Перечень ВАК Web of Science Scopus | |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1134/S1063783419120485 |
| Есть перевод | Sergeeva O.N., Solnyshkin A.V., Kiselev D.A., Il'ina T.S., Kukushkin S.A., Sharofidinov Sh.Sh., Kaptelov E.Yu., Pronin I.P. Influence of Orientation of a Silicon Substrate with a Buffer Silicon Carbide Layer on Dielectric and Polar Properties of Aluminum Nitride Films // Physics of the Solid State. 2019. V.61. #12. P.2386-2391 |
| Год издания перевода | 2019 |
| DOI перевода | |
| Идентификатор Web of Science | WOS:000515346600029 |
| Квартиль | Q4 |
| С участием зарубежных ученых |
