| Полное название | Крапухин В.В., Косушкин В.Г., Кожитов Л.В., Костишин В.Г., Муратов Д.Г., Попкова А.В. Эволюция системы моделей и алгоритмов для расчетов параметров технологических процессов получения материалов микро- и наноэлектроники // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2016. Т.19. №3. С.178-187. |
| Тип публикации | Статья |
| Язык | Русский |
| URL | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=32826315 |
| Дата публикации | 01.01.1900 |
| РИНЦ RSCI Перечень ВАК Web of Science Scopus | |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1134/S1063739717080091 |
| Есть перевод | Krapukhin V.V., Kosushkin V.G., Kozhitov L.V., Kostishin V.G., Muratov D.G., Popkova A.V. Evolution of Models and Algorithms for Calculating the Parameters of Technological Processes to Obtain Materials for Micro- and Nanoelectronics // Russian Microelectronics. 2017. V.46. P.571–579 |
| Год издания перевода | |
| DOI перевода | |
| Идентификатор Scopus | 2-s2.0-85044219514 |
| С участием зарубежных ученых |
