| Полное название | Филин С.А., Рогалин В.Е., Каплунов И.А. Контроль химической чистоты оптической поверхности элементов эллипсометрическим методом // XI международная конференция по фотонике и информационной оптике. Сборник научных трудов. М.: НИЯУ МИФИ, 2022. С.403-404. |
| Тип публикации | Статья в трудах конференции |
| Язык | Русский |
| URL | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48610346 |
| ISBN | 978-5-7262-2842-6 |
|
РИНЦ
Перечень ВАК
Web of Science
Scopus
Зарубежное издательство Научно-популярное издание |
|
| С участием зарубежных ученых |
Внесено в базу
01.01.1900 0:00:00