| Полное название | Аранчий С.М., Крымский К.М., Крымский М.И., Рогалин В.Е. О возможности создания проекционной рентгеновской фотолитографической технологии // Радиотехника и электроника. 2015. Т.60. №3. С.325-328. |
| Тип публикации | Статья |
| Язык | Русский |
| URL | http://elibrary.ru/item.asp?id=22995264 |
| Дата публикации | 01.01.1900 |
| РИНЦ RSCI Перечень ВАК Web of Science Scopus | |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1134/S1064226915030031 |
| Есть перевод | Aranchii S.M., Krymskii K.M., Krymskii M.I., Rogalin V.E. Prospects for development of the projection X-ray photolithographic technology // Journal of Communications Technology and Electronics. 2015. V.60. P.308-310 |
| Год издания перевода | |
| DOI перевода | |
| Идентификатор Scopus | 2-s2.0-84924813360 |
| Идентификатор Web of Science | WOS:000351290100009 |
| С участием зарубежных ученых |
