| 1. | Слепцов В.В., Кожитов Л.В., Муратов Д.Г., Попкова А.В., Савкин А.В., Дителева А.О., Козлов А.П. Тонкопленочные вакуумные технологии для получения электролитических конденсаторных структур высокой емкости // Вакуумная техника и технология. 2019. Т.29. №1. С.40-43. |
